[发明专利]一种去除籽晶残余应力的退火装置及退火方法有效
| 申请号： | 202010279102.7 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111394795B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 刘坤 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于晶体材料制备技术领域，尤其涉及一种去除籽晶残余应力的退火装置及退火方法。为解决PVT法制备AlN籽晶过程中产生的残余应力容易造成晶体内大量裂纹和缺陷的问题，本发明提供了一种去除籽晶残余应力的退火装置及退火方法。该退火装置包括多层内坩埚、外坩埚、加热器、保温层、炉体外壳和感应线圈；多层内坩埚设于外坩埚内，加热器设于外坩埚外部两侧，保温层围设于外坩埚和加热器外周，炉体外壳围设于保温层外周，感应线圈设于炉体外壳外部两侧与加热器位置对应。该装置中多层内坩埚和外坩埚可拆卸，方便安装；能够一次大量同时退火多片氮化铝籽晶，消除籽晶内的残余应力，提升晶体质量，减少晶体内部裂纹及其他缺陷的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 籽晶 残余 应力 退火 装置 方法 | ||
【主权项】：
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