[发明专利]多片外延炉装偏监测方法有效
| 申请号： | 202010259791.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111536911B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 魏桂忠;薛宏伟;陈秉克;袁肇耿;仇根忠;任永升;任丽翠;高勇;霍晓阳 | 申请（专利权）人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01K13/00;H01L21/67;C30B25/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 祁静 |
| 地址： | 050200 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多片外延炉装偏监测方法，属于外延片生产领域，包括步骤：在预设周期下通过测温装置获取基座表面和外延片的瞬时温度值；判断外延片的瞬时温度值是否位于正常温度范围内；当瞬时温度值低于正常温度范围时，判断正常温度范围最低值与瞬时温度值之差是否大于等于第一预设温度差值；当正常温度范围最低值与某个外延片的至少一个所述瞬时温度值之差大于等于第一预设温度差值时，则判定该外延片装偏。本发明提供的多片外延炉装偏监测方法能明确是哪一炉次的外延片存在质量问题，避免了生产完成后耗费大量人力物力对某一批次大量的外延片进行检测追溯的情况发生，避免了生产上的浪费，避免了不合格产品流失到客户端。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 炉装偏 监测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北普兴电子科技股份有限公司，未经河北普兴电子科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010259791.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
