[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备有效
| 申请号： | 202010259657.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111756351B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/56;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述谐振器还包括支撑梁，所述支撑梁用于保持所述有效区域；所述支撑梁在谐振器的横向方向上的内端连接到有效区域，在谐振器的横向方向上的外端由基底支撑；所述支撑梁为金属梁，且所述内端至少部分设置在压电层中。本发明还涉及一种滤波器、一种电子设备以及体声波谐振器制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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