[发明专利]一种密集探针的吸尘机构在审
| 申请号： | 202010253376.9 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111299293A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王洋;张政福;郭尧;陶鑫;卜煜 | 申请（专利权）人： | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/04 | 分类号： | B08B15/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 王淑秋 |
| 地址： | 130102 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种密集探针的吸尘机构，其特征包括吸尘罩、透光板；所述的吸尘罩由固定在一起的吸尘罩主体、吸尘筒构成；吸尘罩主体为中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，吸尘筒固定在梯形壳体的一个斜面上；透光板盖在吸尘罩主体的顶端，且其与吸尘罩主体下端面开口位置对应位置加工有开口槽；吸尘罩主体的下端开口紧贴探针卡。本发明能够吸走激光切割过程中产生的半导体粉尘，吸尘效果优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密集 探针 吸尘 机构 | ||
【主权项】：
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