[发明专利]一种全自动影像检查双台面曝光机有效

专利信息
申请号: 202010249384.6 申请日: 2020-04-01
公开(公告)号: CN111399344B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 邱田生;李诚;陈振才;柯华廉;詹泽军 申请(专利权)人: 东莞市多普光电设备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 谭一兵
地址: 523856 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种全自动影像检查双台面曝光机,涉及自动化设备领域。本发明包含入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位,入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位上方设有的出入移载机构,第一传送工位、第二传送工位的同一侧分别设有第一曝光工位、第二曝光工位,第一传送工位与第一曝光工位连接,第二传送工位与第二曝光工位连接,第一曝光工位与第二曝光工位相邻设置。本发明的全自动影像检查双台面曝光机,由一条出入移载机构服务两套曝光机构,减少了对场地空间的占用,节约了人工数量,对曝光效率进行了进一步优化,并可与前、后设备全自动衔接,增加了产能,提高了效率。
搜索关键词: 一种 全自动 影像 检查 台面 曝光
【主权项】:
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