[发明专利]一种全自动影像检查双台面曝光机有效
| 申请号: | 202010249384.6 | 申请日: | 2020-04-01 |
| 公开(公告)号: | CN111399344B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
| 发明(设计)人: | 邱田生;李诚;陈振才;柯华廉;詹泽军 | 申请(专利权)人: | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 谭一兵 |
| 地址: | 523856 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种全自动影像检查双台面曝光机,涉及自动化设备领域。本发明包含入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位,入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位上方设有的出入移载机构,第一传送工位、第二传送工位的同一侧分别设有第一曝光工位、第二曝光工位,第一传送工位与第一曝光工位连接,第二传送工位与第二曝光工位连接,第一曝光工位与第二曝光工位相邻设置。本发明的全自动影像检查双台面曝光机,由一条出入移载机构服务两套曝光机构,减少了对场地空间的占用,节约了人工数量,对曝光效率进行了进一步优化,并可与前、后设备全自动衔接,增加了产能,提高了效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 全自动 影像 检查 台面 曝光 | ||
【主权项】:
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