[发明专利]激光器脉冲能量测量装置、系统和方法有效
| 申请号： | 202010244219.1 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111366241B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘广义;江锐;沙鹏飞;韩晓泉;赵江山;殷青青;廖密;李一鸣;冯泽斌 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光器脉冲能量测量装置、系统和方法，该激光器脉冲能量测量装置包括：第一光路组件、第二光路组件和第三光路组件，第二光路组件与第一光路组件构成第一测量光路，第三光路组件与第一光路组件构成第二测量光路。其中，第一光路组件包括：沿第一测量光路或第二测量光路依次设置的第一分束镜和第二分束镜；其中，第一分束镜与第二分束镜构成正交结构。本发明通过对激光器能量测量装置的测量光路的正交设计，在激光器脉冲能量测量的过程中，减小了激光光束的参数变化对测量结果的影响，实现了激光器脉冲能量测量的高精度测量，同时实现了激光器的能量测量闭环反馈，确保了激光器能量输出的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 脉冲 能量 测量 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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