[发明专利]位置检测装置、曝光装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 202010242868.8 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111796486A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 藤岛浩史;前田普教 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02;G01M11/04 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供位置检测装置、曝光装置和物品制造方法。该位置检测装置包括：用于对目标进行照明的照明光学系统；用于在光电转换器上形成被照明的照明目标的图像的检测光学系统；具有第一孔径光阑的第一阵列；具有第二孔径光阑的第二阵列；第一驱动机构，其用于通过驱动第一阵列，使得横跨照明光学系统的光轴的第一孔径光阑在第一方向上移动，将所选择的第一孔径光阑布置在照明光学系统的光瞳上；以及第二驱动机构，其用于通过驱动第二阵列，使得横跨检测光学系统的光轴的第二孔径光阑在第二方向上移动，将所选择的第二孔径光阑布置在检测光学系统的光瞳上。第一和第二驱动机构分别在第一和第二方向上微调所选择的第一和第二孔径光阑的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 装置 曝光 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
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