[发明专利]多针结构探针体及探针卡在审
申请号: | 202010216412.4 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN111751586A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 水谷正吾 | 申请(专利权)人: | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 汤国华 |
地址: | 日本国东京都武藏*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种多针结构探针体及探针卡,能够应对半导体集成电路的电极端子之间的窄间距化。本发明的多针结构探针体的特征在于,具有:多个接触部,它们与第一接触对象和第二接触对象电接触,由导电性材料形成;以及基部,其安装在基板上,并且支承所述多个接触部的每一个,由合成树脂材料形成,所述基部具有:安装部;以及多个负载部,它们分别在所述安装部的下部隔开间隔地设置,在沿长度方向延伸的臂部的顶端侧保持所述接触部,并弹性地支承所述接触部。 | ||
搜索关键词: | 结构 探针 | ||
【主权项】:
暂无信息
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