[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 202010211966.5 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111323160B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | M·鲍曼 | 申请（专利权）人： | TDK-MICRONAS有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L23/10;F02D41/38 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张小稳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力传感器。压力传感器(10)具有载体芯片(20)，载体芯片其内和/或者其上集成了至少一个传感器元件(30)，传感器元件的测量信号取决于载体芯片(20)中的机械应力。载体芯片(20)在其背面以平坦和材料锁定的形式连接到固体主体(50)，固体主体的弹性模量与载体芯片(20)的弹性模量不同。载体芯片(20)具有至少两个独立且纵向的凹槽(80a，80b)，在凹槽之间布置有传感器元件(30a，30b)。所述压力传感器具有偏压电路(40)并用于共轨喷射系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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