[发明专利]一种产生大面积稳定可控等离子体的装置和方法在审

专利信息
申请号: 202010207486.1 申请日: 2020-03-23
公开(公告)号: CN111432543A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 范伟丽;刘倩;刘怡宁 申请(专利权)人: 河北大学
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 代理人: 苏艳肃
地址: 071002 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种产生大面积稳定可控等离子体的装置和方法,所述装置包括金属栅电极和液体电极,所述液体电极为在有机玻璃管内注有液体,在有机玻璃管的两端各自密封连接有绝缘介质板;所述金属栅电极为规则排布有网孔的金属网板结构,所述金属栅电极为接地电极且牢固粘贴在绝缘介质板的外侧面。本发明通过沿面介质阻挡放电可产生大面积稳定可控的等离子体并进行控制,进而产生不同成分、不同浓度的活性物质。本发明液体电极和金属栅电极相配合,避免了因放电过热而导致的介质板变形等问题,能够产生长时间稳定的等离子体,满足了对放电等离子体进行双向实时探测和诊断的需求。此外,放电电压调节范围也大大扩展,适宜推广应用。
搜索关键词: 一种 产生 大面积 稳定 可控 等离子体 装置 方法
【主权项】:
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