[发明专利]基于Si-Ge2

摘要

基于Si‑Ge2Sb2Te5混合波导的片上光子多级开关，属于皮秒激光和连续激光应用技术领域。本发明基于激光多脉冲作用和倏逝波耦合理论。非晶Ge2Sb2Te5和单模Si波导直接耦合，Ge2Sb2Te5薄膜通过磁控溅射法沉积，通过调节皮秒激光脉冲数和脉冲能量来调节Ge2Sb2Te5不同结晶状态实现多级开关操作。本器件不需要维持传统光开关由于热光效应和电光效应带来的能耗，是一种绿色的器件。并且由于Ge2Sb2Te5在不同结晶状态下具有不同的光学常数，其晶态折射率和消光系数高于非晶态的折射率和消光系数，这使得材料与光的耦合及对光的吸收能力不同，进而实现多级操作。本发明可广泛应用于光通信系统。