[发明专利]一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010197207.8 申请日: 2020-03-19
公开(公告)号: CN111270306A 公开(公告)日: 2020-06-12
发明(设计)人: 刘明;周子尧;胡忠强;王志广;姚谋腾 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C30B23/02 分类号: C30B23/02;C30B29/22;C30B29/26
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 房鑫
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法,包括以下步骤:步骤1,采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3单晶基片上依次沉积Sr3Al2O6和Ni0.5Zn0.5Fe2O4外延单晶薄膜;步骤2,在Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜上贴附柔性PET厚膜,然后将样品放入去离子水中,当Sr3Al2O6与水完全反应后,Ni0.5Zn0.5Fe2O4从基片上成功地转移至柔性PET衬底上。本发明以Sr3Al2O6为牺牲层,成功将Ni0.5Zn0.5Fe2O4单晶薄膜转移至柔性PET衬底上,为新型自旋电子器件的研制提供了新思路。
搜索关键词: 一种 柔性 外延 铁氧体 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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