[发明专利]一种带有反型注入侧壁的超级结终端及其制作方法在审
| 申请号： | 202010196037.1 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111354780A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 盛况;郭清;任娜;王策;王珩宇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/82 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310012 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种带有反型注入的超级结终端及其制作方法。所述侧壁注入形成的超级结终端包括外延柱、反型注入侧壁和沟槽，外延柱和沟槽是在衬底上通过外延生长形成的具有掺杂的半导体区域，通过刻蚀形成，反型注入侧壁通过在沟槽侧壁进行离子注入形成，沟槽与外延柱区相间排列，位于两个相邻外延柱区之间。该带有反型注入的超级结终端可以在器件阻断电压时使有源区边缘电场分布比较均匀，从而提高边缘区域耐压，充分发挥有源区的耐压能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 注入 侧壁 超级 终端 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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