[发明专利]蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法在审
| 申请号： | 202010175959.4 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111719157A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 李明翰;案缟源;李龙儁;池祥源;朴锺模;金世训 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻组合物及利用其的金属膜的蚀刻方法，详细地，提供一种提高单一金属膜或多重金属膜的蚀刻特性的蚀刻组合物、利用其的金属膜的蚀刻方法以及包括利用本发明的蚀刻组合物而进行的工序的半导体元件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 利用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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