[发明专利]一种单质量双解耦的双轴硅微陀螺仪有效
| 申请号： | 202010173874.2 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113390403B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘雪松;闫桂珍;闫作喜;林龙涛;庞晨鹏 | 申请（专利权）人： | 北京微元时代科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及双轴陀螺仪，具体是一种单质量的双轴陀螺仪，两个轴陀螺仪均为双解耦结构，均为水平轴陀螺仪。本发明解决了现有双轴陀螺仪结构复杂、良率低、机械耦合大、轴间串扰大等问题。一种单质量双解耦的双轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、玻璃盖帽、驱动模块、X轴检测模块、Y轴检测模块、中框复合质量块；所述驱动模块包括一个内框驱动质量块、一个中心锚块、四根工字型驱动梁、四根L型解耦梁、两个驱动极板、两个驱动反馈极板；所述X(Y)轴检测模块包括两个X(Y)轴检测质量块、两组X(Y)轴检测梳齿、两根工字型解耦梁、四对X(Y)轴检测弹性支撑梁、四个锚块。本发明适用于导航制导、平台稳定、姿态控制等高端应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质量 双解耦 双轴硅微 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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