[发明专利]良率分析的方法、装置和计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202010172049.0 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111353082B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 全芯智造技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/93 | 分类号： | G06F16/93;G06F18/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李兴斌 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例涉及良率分析的方法、装置和计算机可读存储介质。该方法包括：提取低良率晶圆数据的至少一个特征，所述至少一个特征与低良率案件档案库中的至少一个特征相对应；基于所述至少一个特征，确定所述低良率晶圆数据与所述低良率案件档案库中的低良率案件的相似度；基于所述相似度，确定所述低良率档案库中与所述低良率晶圆数据匹配的特定低良率案件；以及获取与所述特定低良率案件相关的档案信息，以指导对所述低良率晶圆数据的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 方法 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全芯智造技术有限公司，未经全芯智造技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010172049.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
