[发明专利]一种透射电镜高分辨原位液相加热芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种透射电镜高分辨原位液相加热芯片及其制备方法。结构为上片和下片通过金属键合层组合，自封闭形成一个超薄的腔室；上片和下片的材质均为两面有氮化硅或氧化硅的硅基片，上片有两个注样口和一个中心视窗；下片有液体出入口、流道、加热层、位于加热层中心处的中心视窗和绝缘层。加热层有四个接触电极及螺旋环形加热丝；加热层中心的加热丝置于硅基片上，以中心视窗为中心，且在大于螺旋环形加热丝外边缘区域内设置悬空的支撑膜；使加热层中心的加热丝区域与其他区域的硅基片通过支撑膜隔离开；液体出入口通过流道连通并关于中心视窗对称布置；中心视窗上均有多个小孔。所述芯片具有分辨率高，液体流向可控，样品漂移率低的优点。