[发明专利]显微物镜以及自动光学检测系统有效
| 申请号： | 202010140625.3 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111239996B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 高建祥 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B13/00;G02B27/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了显微物镜以及自动光学检测系统，其中，显微物镜沿光轴自物侧面到像侧面至少依次包括：第一镜头组，具有负光焦度；第二镜头组，具有正光焦度，所述第二镜头组用于对从第二镜头组的物侧入射至所述第二镜头组的光束进行偏折；第三镜头组，具有负光焦度，所述第三镜头组用于对从所述第三镜头组的物侧入射，并从所述第三镜头组的像侧出射至所述第二镜头组的光束进行像差校正；以及第四镜头组，所述第四镜头组具有正光焦度，所述第四镜头组用于对从第四镜头组的物侧入射至所述第四镜头组的光束进行缩束。本发明提供了显微物镜，在保持数值孔径不变的条件下，且不牺牲像差的情况下，可以得到较大工作距离的高倍物镜。 | ||
| 搜索关键词： | 显微 物镜 以及 自动 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
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