[发明专利]一种钼铝兼容蚀刻液及蚀刻方法在审
| 申请号： | 202010138777.X | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111270238A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 陈巧云 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钼铝兼容蚀刻液，包括磷酸、硝酸、醋酸、氯酸、表面活性剂、金属抑制剂、助剂和水；以所述钼铝兼容蚀刻液的总重量为基准，所述磷酸的含量为60‑68％、硝酸的含量为2.5‑3％、醋酸的含量为19‑25％、氯酸的含量为2‑5％，表面活性剂的含量为2‑10％、金属抑制剂的含量为0.8‑1.2％、所述助剂的含量为2‑5％，余量为水；所述金属抑制剂包括钼酸盐、甲基苯骈三氮唑钠、二巯基噻二唑二钠盐中的至少一种。本发明还公开了一种蚀刻方法。本发明的钼铝兼容蚀刻液，加入氯酸，对钼铝的蚀刻速率进行了控制；加入金属抑制剂，控制磷酸根离子的电离平衡，进一步降低金属钼的蚀刻速率。本发明提供的蚀刻方法，工艺简单，易于操作，效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼容 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
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