[发明专利]物料搬送系统、自动化天车走行区域微粒监控系统及监控方法在审

专利信息
申请号: 202010135719.1 申请日: 2020-03-02
公开(公告)号: CN113340776A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 秦源章 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N15/06;G01N15/10
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 周修文
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种物料搬送系统、自动化天车走行区域微粒监控系统及监控方法,自动化天车走行区域微粒监控系统包括气体采集模块、粒子计数器与监控装置。气体采集模块用于获取自动化天车的行走轮周围的待测气体。粒子计数器用于对待测气体进行检测,并测试出待测气体的微粒的大小以及数量。监控装置与粒子计数器电性连接,监控装置用于获取测试出的微粒的大小以及数量,并在判断到微粒的含量不符合预设标准时进行报警动作。能及时地提醒工作人员对自动化天车与轨道进行清洁处理,能提高清洁效果,减小电器元件污染程度,以及延长自动化天车的马达的使用寿命。此外,根据对微粒的检测数据,也能同时为轨道的清洁周期,提供有效依据,保障洁净度要求。
搜索关键词: 物料 系统 自动化 天车 区域 微粒 监控 方法
【主权项】:
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