[发明专利]一种离子束抛光的大面积单片集成Fabry-Pérot腔滤色器制造方法有效
| 申请号： | 202010131789.X | 申请日： | 2020-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN111300163B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李平;段辉高;王兆龙 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00;B24B49/12;B24B51/00;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/30;C23C14/54;C23C14/58;G01B11/06;G01B15/04;G01B21/20;G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 刘桂荣 |
| 地址： | 410082*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子束抛光的大面积单片集成Fabry‑Pérot腔滤色器制造方法，首先是准备一片衬底；然后，依次在衬底上沉积一定纳米厚度的底层金属层和电介质层薄膜；开展电介质层薄膜的单点驻留抛光试验研究以确定其离子束抛光工艺去除函数；采用栅格路径扫描法对电介质层薄膜开展不同扫描速度条件下的分区域加工；利用检测装置对单个微纳米台阶的高度、面形精度和表面粗糙度进行检测并判别；在生成的微纳米台阶阵列结构上沉积一定纳米厚度的顶层金属层；最后，对制造的单片集成Fabry‑Pérot腔滤色器的光谱性能进行测试。本发明的加工方法不仅工艺简单、可操作性强，而且特别适用于单片集成Fabry‑Pérot腔滤色器的大面积、高效率、高精度及低成本可控制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 抛光 大面积 单片 集成 fabry rot 腔滤色器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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