[发明专利]一种多通道共轭窄带差动显微自动对焦装置及方法

摘要

本发明公开了一种多通道共轭窄带差动显微自动对焦装置及方法，该装置的信号分析处理模块通过读取由离焦量测量辅助相机和带有N个窄带波段透光微孔的挡光片结合采集到的一帧样品离焦图像，并对N个不同窄带波段的平均灰度值In进行差动处理得归一化差动信号，根据预先刻度的样品差动信号与离焦量之间的对应关系，便可快速获取样品当前离焦量大小及方向，载物台驱动控制模块根据实测离焦量将载物台快速移至样品聚焦面，实现自动对焦同时，信号分析处理模块通过图像获取相机所获取的样品图像为清晰聚焦图像。结构简单、安装方便，对焦范围大，对焦精度高，对焦效率高，进一步提高了显微自动对焦技术现有水平，能更好的满足市场需求。