[发明专利]多功能探针及真空羽流检测装置有效
| 申请号： | 202010118031.2 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111315105B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡国飙;白君香;袁军娅;韩木天;翁惠焱 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 赵薇 |
| 地址： | 100000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多功能探针及真空羽流检测装置，涉及真空羽流参数检测技术领域，本发明提供的多功能探针包括第一收集模块、第二收集模块以及与第一收集模块连接的限位组件；第一收集模块具有用于收集流场离子的发射灯丝；第二收集模块套设于第一收集模块外部，且其两端面分别与第一收集模块和限位组件相抵，第二收集模块具有用于收集流场离子的带状收集面。本发明提供的多功能探针中，带状探针保证其收集离子主要为CEX离子，同时可根据发射灯丝提供的空间电势在带状探针的伏安特性曲线上寻找对应的电流，实现空间电势高精度诊断及互相校正的功能，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 探针 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
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