[发明专利]声表面波谐振器及其形成方法在审
| 申请号： | 202010116392.3 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111313861A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 项少华;王冲;王大甲;穆苑龙;魏有晨 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声表面波谐振器及其形成方法。所述声表面波谐振器不仅设置有反射层，还设置有腔体，从而可以实现对沿着竖直方向传播的声波的多次反射，减少了声波能量的损失，有利于进一步提高声表面波谐振器的Q值。以及，反射层是和相同材料的键合层相互键合的，使得键合层和反射层之间更易于键合，并且还可以提高键合层和反射层之间的键合强度，相应的提高所形成的声表面波谐振器的结构稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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