[发明专利]一种压电力显微镜数据读取和测量系统、装置及方法

摘要

本发明公开了一种压电力显微镜数据读取和测量系统、装置及方法，系统包括控制单元，参数设置单元，数据读取单元，数据处理单元，数据分析单元。装置包括安装所述测量系统的PC机、锁相放大器和原子力显微镜、AFM数字接入模块，原子力显微镜的一个数据输出端与锁相放大器的第一输入端连接，原子力显微镜的数字线端口与AFM数字接入模块连接，AF数字接入模块的数字接入端口与锁相放大器的第二输入端连接，锁相放大器的USB串口与PC机连接，接收测量系统传输的参数设置信号，并将采集到的数据传输到测量系统。该方法基于该系统。能够读取锁相放大器采集到的数据，并对数据进行分析，生成需要的数字图像。