[发明专利]高光效绿光LED外延片及制造方法在审
| 申请号： | 202010093862.9 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111180564A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 解向荣 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/32 | 分类号： | H01L33/32;H01L33/12;H01L33/06;H01L33/00 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 丘鸿超;蔡学俊 |
| 地址： | 350109 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提出一种高光效绿光LED外延片及制造方法，其特征在于，包括：蓝宝石衬底、以及在蓝宝石衬底上依次生长的：AlN缓冲层、氮化镓层、氮化镓/氮化铟镓循环层、N型GaN层、高温InGaN/GaN量子阱层、nGaN/GaN发光量子阱层和P型GaN层。其主要通过氮化镓/氮化铟硅循环层结构可以解决氮化镓层中的位错和层错，有效提升半极性氮化镓的晶体质量；通过多循环的氮化铟硅结构可以有效降低氮化镓结构中的位错，从而减少氮化镓的位错穿透半极性氮化镓结构进入量子阱结构，有效降低了位错密度，提升了量子阱结构的晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 高光效绿光 led 外延 制造 方法 | ||
【主权项】：
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