[发明专利]光学元件面形的瞬态数字莫尔移相干涉测量装置和方法有效
| 申请号： | 202010091711.X | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN111238397B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 胡摇;郝群;王臻;王劭溥 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 光学元件面形的瞬态数字莫尔移相干涉测量装置及方法，其解决了使用两步载波拼接法时需要牺牲瞬时抗振性换取测量范围的缺陷，扩展了传统的数字莫尔移相方法的测量范围，同时也保留了数字莫尔移相方法的瞬时抗振特性。装置包括：光源(1)、分光镜(2)、参考镜(3)、第一偏振光栅(4)、被测镜(5)、第二偏振光栅(6)、第一成像物镜(7)、第一相机(8)、第二成像物镜(9)和第二相机(10)；通过偏振光栅的分光性能加载不同载波，使用偏振光栅将两束干涉光分离，同时获取两幅实际干涉图。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 瞬态 数字 莫尔 相干 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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