[发明专利]一种超亲水的场效应管生物传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010088543.9 | 申请日： | 2020-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN111272852B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘超然;方灵星;李杜娟;董林玺;王高峰 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于生物检测传感技术领域，具体涉及一种超亲水的场效应管生物传感器及其制备方法。选取(111)型SOI硅片为传感器衬底材料，保障器件结构与衬底之间绝缘特性；采用MEMS工艺制备的阵列化硅纳米线结构，增大待测物质与器件敏感单元的接触面积，进而提高传感器的灵敏度；超亲水结构分布于传感器隔离沟道周围，能够强力吸附待测溶液，与器件敏感单元充分接触；采用1,8‑壬二炔选择性地官能化硅纳米线，保障抗体在器件表面的定向修饰和待测液中抗原的定向吸附。本发明能够实现对生物待测液中抗原进行快速、灵敏、非侵入性地液体体外活检。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超亲水 场效应 生物 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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