[发明专利]包括面板键合操作的方法和包括空腔的电子器件在审
| 申请号： | 202010079649.2 | 申请日： | 2020-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN111517271A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | H·托伊斯 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘炳胜 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种方法包括：在第一气体环境中第一材料的第一面板键合到基底面板，其中在第一面板和基底面板之间形成封装第一气体环境的气体的多个密闭地密封的第一空腔。该方法进一步包括第二材料的第二面板键合到基底面板和第一面板中的至少一个，其中在第二面板与基底面板和第一面板中的至少一个之间形成多个第二空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 面板 操作 方法 空腔 电子器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010079649.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内齿轮泵
- 下一篇：一维测量机和记录介质
