[发明专利]用于化学机械平面化工具的垫、化学机械平面化工具和相关方法有效
| 申请号： | 202010079308.5 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111515851B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | J·布雷松 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/20;B24B37/24 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请案涉及用于化学机械平面化的工具的垫、化学机械平面化工具和相关方法。一种用于化学机械平面化的垫，其包括：材料，其具有主表面；及凹凸部，其从所述主表面延伸，所述凹凸部中的每一个的长度与宽度之间的比大于约2:1，且至少一些凹凸部的前导表面与所述主表面之间的夹角大于约90°。本发明还揭示相关垫，用于化学机械平面化的工具和相关方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 平面化 工具 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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