[发明专利]用于对被测器件进行测试的具有汇流条机构的探针台有效
| 申请号： | 202010078415.6 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111579955B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | A·格诺伊佩尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 邬少俊 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测试被测器件(106)的测试系统(102)的探针台(100)，其中，所述探针台(100)包括用于将电信号传送至以及离开被测器件(106)的汇流条机构(104)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 器件 进行 测试 具有 汇流 机构 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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