[发明专利]一种扫描排错设备和扫描排错方法在审
申请号: | 202010073961.0 | 申请日: | 2020-01-22 |
公开(公告)号: | CN111157025A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 张少林;张万祯;周秋玲 | 申请(专利权)人: | 深圳市威富视界有限公司 |
主分类号: | G01D5/30 | 分类号: | G01D5/30 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 袁哲 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请适用于工业生产自动化技术领域,提供了一种扫描排错设备和扫描排错方法,扫描设备包括光梳测距组件和扫描控制组件,光梳测距组件包括:激光发生器、第一分束镜、第二分束镜、反射镜和光电探测器,激光发生器产生信号光和本振光,信号光入射第一分束镜,本振光入射第二分束镜,信号光经过第一分束镜后,反射的部分成为参考光,透射的部分成为测量光,反射镜垂直参考光且设置于参考光的光路上,参考光经反射镜反射后,与被工件反射的测量光以及本振光合束并被光电探测器接收。光梳测距组件基于双光梳干涉原理,通过该工件表面对应位置的表面与光梳测距组件的距离差,能够获知工件是否安装的信息和工件是否存在安装异常的信息。 | ||
搜索关键词: | 一种 扫描 设备 方法 | ||
【主权项】:
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