[发明专利]一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法在审
| 申请号: | 202010064192.8 | 申请日: | 2020-01-20 |
| 公开(公告)号: | CN111224109A | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
| 发明(设计)人: | 黄欣 | 申请(专利权)人: | 柳州四通材料科技有限公司 |
| 主分类号: | H01M4/66 | 分类号: | H01M4/66;H01M4/131;H01M4/1391;H01M4/04;H01M10/052;H01M10/0562;H01M10/058 |
| 代理公司: | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人: | 梁灵周 |
| 地址: | 545616 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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| 摘要: | 本发明涉及电池领域,且公开了一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法,该制备方法适用于制备机器人锂电池生产用全固态薄膜,其特征在于,包括以下步骤:选取基底层,用500目‑3000目的砂纸对基片表面进行机械抛光,直至表面能发生镜面反射;采用磁控溅射技术在基底表面沉积一层金属流体层;采用负极活性物质材料作为靶材,安装好靶材和基片以后关闭送样室和外延室,利用机械泵,分子泵,离子泵将外延室真空抽至1×10‑7Pa以下,调整靶材与基片间的距离为60mm,自转速率为10‑15转/min,预溅射2‑4h以上,采用对耙交替沉积的方法,每一块靶材轰击10‑15下,本发明一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法,可以提高固态膜的密度,稳定性好。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 机器人 锂电池 生产 固态 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
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