[发明专利]有中空发光区的垂直腔面发射激光器及其制造方法和应用在审
| 申请号： | 202010063742.4 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111224319A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张成;梁栋;刘嵩 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种有中空发光区的垂直腔面发射激光器及其制造方法和应用，所述有中空发光区垂直腔面发射激光器包括：衬底；第一反射层，设置在所述衬底上；有源层，设置在所述第一反射层上；第二反射层，设置在所述有源层上；至少一环形的发光区，形成在所述第二反射层或/和所述第一反射层上，用以发射光线。本发明提出的有中空发光区垂直腔面发射激光器能够提高发光均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 中空 发光 垂直 发射 激光器 及其 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
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