[发明专利]控制装置、曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202010061877.7 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111487847A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 茂木威史 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了控制装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供可以利用其以简单的配置以高的精度控制驱动单元的驱动的控制装置，根据本发明的控制装置(100)包括：多个电流源(20)，每个电流源(20)被配置为基于PWM方法供给电流；第一检测单元，该第一检测单元被配置为检测驱动单元(14)的驱动状态；以及控制单元(50)，该控制单元(50)被配置当基于第一检测单元的检测结果而从多个电流源(20)供给并且是驱动驱动单元(14)所需要的多个电流(Ixf，Ixb，Iyl和Iyr)中的至少一个电流的值是预定值时，改变多个电流(Ixf，Ixb，Iyl和Iyr)的值。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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