[发明专利]一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系有效
| 申请号： | 202010061392.8 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111232964B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 彭海琳;刘忠范;阎睿;唐际琳;杜音 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系，该方法包括：提供一带有金属基底的石墨烯晶圆；以及，采用电化学鼓泡工艺将所述石墨烯晶圆自所述金属基底上剥离；其中，所述电化学鼓泡工艺中的鼓泡体系包括水相和有机相，所述水相包括电解质水溶液，所述有机相位于所述水相的下方。本发明一实施方式的石墨烯晶圆的转移方法，大大减少了转移过程中石墨烯薄膜的破损，提高了所得石墨烯薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯晶圆 转移 方法 体系 | ||
【主权项】：
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