[发明专利]Pt修饰ZnO微米线异质结发光二极管及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010059157.7 申请日: 2020-01-19
公开(公告)号: CN111525011B 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 阚彩侠;马琨傑;周祥博;姜明明;唐楷 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: H01L33/26 分类号: H01L33/26;H01L33/40;H01L33/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了Pt修饰ZnO微米线异质结发光二极管及其制备方法,该二极管包括包括p‑GaN衬底、PtNPs@ZnO:Ga复合微米线、垫片、石英玻璃,垫片与p‑GaN衬底并排摆放,PtNPs@ZnO:Ga复合微米线贴在p‑GaN衬底和垫片上,位于垫片上的一端贴有金属颗粒电极,p‑GaN衬底镀有合金电极,石英玻璃压在PtNPs@ZnO:Ga复合微米线上;该二极管的制备方法包括以下步骤:(S1)在制备Pt@ZnO:Ga金属修饰半导体的复合结构;(S2)制备PtNPs@ZnO:Ga复合微米线;(S3)制备PtNPs@n‑ZnO:Ga/p‑GaN异质结构;(S4)在p‑GaN衬底上制备合金电极,在PtNPs@ZnO:Ga复合微米线一端制备金属颗粒电极;(S5)最后在整个结构上按压一片石英玻璃,即得到Pt修饰ZnO微米线异质结发光二极管。该二极管紫外发光效率高,且为微米级光电器件,便于使用和制备,同时能够灵活调节发光波长。
搜索关键词: pt 修饰 zno 微米 线异质 结发 二极管 及其 制备 方法
【主权项】:
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