[发明专利]封装基板制备方法有效
| 申请号： | 202010049431.2 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111243965B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 康孝恒;蔡克林;唐波;杨飞;李瑞;许凯;蒋乐元 | 申请（专利权）人： | 深圳市志金电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/48 | 分类号： | H01L21/48;H05K3/02;H05K3/06 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王毅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于印制线路板技术领域，公开了一种封装基板制备方法，封装基板制备方法用于制造供芯片封装的封装基板，其包括：提供母材，母材具有铜层以及覆盖于铜层的金属保护层，采用激光刻蚀工艺在金属保护层上刻蚀线路，并裸露出铜层；沿裸露的铜层进行蚀刻得到精细线路；褪掉金属保护层，漏出铜层精细线路，得到半成品；对半成品镀铜，得到具有成品精细线路的封装基板，通过激光刻蚀工艺对金属保护层蚀刻，再对裸露的铜层进行蚀刻，得到具有线宽/线距小于等于20/20um精细线路的封装基板，该制备方法简单，成本低，可实现大批量制备，提高了生产效率，而且还能够保持高良率。 | ||
| 搜索关键词： | 封装 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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