[发明专利]基于色散条纹斜率分析的拼接镜共位相误差校正方法有效
| 申请号： | 202010047451.6 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111207910B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 鞠国浩;张春悦;姜凤义;许博谦;王帅会 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 于晓庆 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于色散条纹斜率分析的拼接镜共位相误差校正方法，属于光学检测领域，包括：构建检测平台；采集色散条纹图像，采用条纹斜率粗提取方法计算条纹斜率；若条纹斜率绝对值大于设定的阈值T1，则进行粗调整并计算两个拼接子镜之间的平移误差，重复步骤二；若条纹斜率绝对值小于设定的阈值T1，则进行精调整并重新计算条纹斜率；若条纹斜率绝对值小于设定的阈值T2，则迭代调整结束，否则重复步骤四。本发明利用子镜平移误差与色散条纹斜率之间存在定量化解析关系，通过分析色散条纹斜率确定子镜间平移误差的方向与大小，并进行迭代调整，直至满足迭代终止条件时结束。通过本发明的多次迭代调整之后可以使子镜间残留平移误差足够小。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 色散 条纹 斜率 分析 拼接 位相 误差 校正 方法 | ||
【主权项】：
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