[发明专利]一种具有透明顶衬与背面正负电极的VCSEL器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010045074.2 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111244759A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 梁栋;丁维遵;翁玮呈;刘嵩 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/323;H01S5/343 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 阎冬 |
| 地址： | 213164 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有透明顶衬与背面正负电极的VCSEL器件及其制备方法，包括：外延层上的氧化沟道和通过氧化层限定出的VCSEL单元台面结构；位于所述外延层上的透明顶衬及设置于透明顶衬上的光学元件；所述外延层背面形成的通孔；所述外延层背面包含正极与负极。本发明通过一次正面键合顶衬，然后移除背面衬底即可完成主要制程；该器件由于出光在正面，制程上对背面光刻的精准度要求比较宽松；正负电极位于背面，封装时无需打线，直接表面贴片，易与驱动等其他组件直接贴合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 透明 背面 正负 电极 vcsel 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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