[发明专利]一种带上料器真空气相沉积炉有效
| 申请号： | 202010044041.6 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113124683B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 言伟雄 | 申请（专利权）人： | 株洲弗拉德科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D3/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D11/10;F27D19/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 杨千寻;冯振宁 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种带上料器真空气相沉积炉，所述真空气相沉积炉包括加热炉体、炉体内设有螺旋式上料器，炉身还设有上电极和下电极。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。具有效率高，反应快速的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带上 料器 空气 沉积 | ||
【主权项】：
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