[发明专利]一种封装盖板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010040356.3 申请日: 2020-01-15
公开(公告)号: CN113130407A 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 刘松坡;黄卫军;刘学昌 申请(专利权)人: 武汉利之达科技股份有限公司
主分类号: H01L23/06 分类号: H01L23/06;H01L21/48
代理公司: 湖北高韬律师事务所 42240 代理人: 鄢志波
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种封装盖板及其制备方法,所述封装盖板包括基片和基片表面金属层结构,所述基片表面金属层结构包括至少两层金属层;所述基片表面第一层金属层为粘附金属层,第二层金属层为铜金属层或铜合金层,所述粘附金属层在基片与第二层金属层之间,所述粘附金属层用于粘结基片与金属层或金属层与金属层,以及提供一种制备封装盖板方法。本发明提供的一种封装盖板及其制备方法,采用了图形电镀技术,同时采用了基片表面粗化工艺,能够提高基片与表面金属层间结合力,在后续封装过程中密封性能更好;基片材质可以选择玻璃、陶瓷或金属。
搜索关键词: 一种 封装 盖板 及其 制备 方法
【主权项】:
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