[发明专利]一种半导体制程管路清洗装置在审
| 申请号： | 202010032199.1 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111167808A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王迎来 | 申请（专利权）人： | 无锡虎虎机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机和循环泵；调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达的抽水电磁阀、控制所述鼓风机的鼓风机出口阀以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀。在工作时，既可以使用外部气源，也可以采用内部气源保证管内气压；设置有多个电磁阀以通过多重的检查控制保证了工作时的设备运行安全；成本低，操作简单易上手。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 管路 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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