[发明专利]热硬化性含硅化合物、含硅膜形成用组成物以及图案形成方法有效
| 申请号： | 202010017271.3 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111423587B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 矢野俊治;三井亮;前田和规;荻原勤;橘诚一郎 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08G77/18 | 分类号： | C08G77/18;C08G77/24;C08G77/14;C08G77/06;G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及热硬化性含硅化合物、含硅膜形成用组成物以及图案形成方法。本发明的课题是为了提供一种热硬化性含硅化合物，其可使用于能达成互为相反的性能的含硅抗蚀剂下层膜材料，该互为相反的性能为虽具有碱显影液耐性，但却会改善溶解于不含过氧化氢的碱性剥离液的溶解性。该课题的解决方法为一种热硬化性含硅化合物，其特征为：含有下述通式(Sx‑1)、(Sx‑2)、及(Sx‑3)表示的结构单元中的任一种以上。 |
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| 搜索关键词： | 化性 化合物 含硅膜 形成 组成 以及 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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