[发明专利]正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法有效
| 申请号： | 202010011460.X | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111423582B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 上海极紫科技有限公司 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201805 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法，本发明针对正性聚酰亚胺光刻胶树脂的应用，设计并合成了侧链末端带有羧基的聚酰亚胺树脂，并在聚合过程中完成亚胺化，避免了市售商品采用前驱体PAA在应用过程中带来的弊端，同时支链中的羧基保证光敏聚酰亚胺树脂在碱性水溶液中正常显影，形成高质量的图形，也避免了图形化之后过高的后烘烤温度。由于该树脂在制备过程中已经完成亚胺化，所以光刻图形后不需要300度以上高温处理；而羧基定位在长的烷基支链末端，更容易发生低温固化，该光敏树脂也更容易保存。由该聚酰亚胺树脂所制备的光刻胶具有对环境友好、固化温度低、图形分辨率好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 聚酰亚胺 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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