[发明专利]探针、测量系统以及应用探针的方法在审
| 申请号： | 202010009491.1 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111474390A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 约翰内斯·斯特芬斯;赫曼·伯斯 | 申请（专利权）人： | 罗德施瓦兹两合股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 龚伟;李鹤松 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将探针尖端精确定位在测量点处的改进的探针。为此目的，诸如相机的图像捕获装置可以牢固地布置在探针处。图像捕获装置可以捕获探针尖端的区域周围的图像数据。捕获的图像数据可以在将探针尖端定位在期望测量点的过程中提供给用户。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测量 系统 以及 应用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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