[发明专利]粘附缺陷检测设备及使用其的粘附缺陷检测方法在审

专利信息
申请号: 202010004731.9 申请日: 2020-01-03
公开(公告)号: CN111505017A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 黄太进 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张晓;韩芳
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种粘附缺陷检测设备及使用其的粘附缺陷检测方法。所述粘附缺陷检测设备包括:检查窗,具有第一虚设区域、第二虚设区域以及设置在第一虚设区域与第二虚设区域之间的检查区域。第一形状改变器设置在检查窗上。第一形状改变器被构造为在第一方向上改变检查窗的形状。第二形状改变器设置在第一虚设区域和第二虚设区域两者的外部。第二形状改变器被构造为在垂直于第一方向的第二方向上改变检查窗的形状。
搜索关键词: 粘附 缺陷 检测 设备 使用 方法
【主权项】:
暂无信息
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