[发明专利]对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置与检测方法有效
| 申请号： | 202010000986.8 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111103769B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 唐锋;王向朝;卢云君;彭常哲;刘洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置及检测方法，该装置包括光源及照明系统、物面标记板、物面位移台、被测投影物镜、像面标记板、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元；本发明的物面标记板及像面标记板具有用于剪切干涉测试的光栅标记和用于光强测试的标记，通过二维光电传感器同时接收剪切干涉图和光强信息，利用光强信息修正每一幅相移干涉图对应的光强波动误差，提高了检测精度，降低了系统的复杂性和成本，提高了检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 对光 波动 敏感 投影 物镜 波像差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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