[发明专利]模斑转换器及其制备方法、硅光器件和光通信设备在审

专利信息
申请号: 201980102176.9 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN114730047A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 张艳武;马庆艳;丁琪超 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: G02B6/14 分类号: G02B6/14
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 荣甜甜;黄健
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供了一种模斑转换器及其制备方法、硅光器件和光通信设备,涉及光纤通信技术领域,用于在提高硅光子芯片和标准单模光纤之间的耦合效率的同时,降低模斑转换器的封装工艺难度。该模斑转换器包括下包层,设置于下包层上的第一波导芯、覆盖第一波导芯的间隙层、设置于间隙层上的第二波导芯,以及设置于第二波导芯上的上包层;第一波导芯的折射率大于第二波导芯的折射率,第二波导芯的折射率大于间隙层的折射率、下包层的折射率和上包层的折射率;所述第一波导芯用于接收光信号并使光信号耦合到第二波导芯;所述第二波导芯用于将从第一波导芯耦合到其内的光信号输出;所述间隙层为耐腐蚀的透明层,用于阻挡刻蚀液刻蚀第一波导芯。
搜索关键词: 转换器 及其 制备 方法 器件 光通信 设备
【主权项】:
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