[发明专利]一种成像器件、传感器以及电子设备在审
| 申请号: | 201980098775.8 | 申请日: | 2019-07-31 |
| 公开(公告)号: | CN114175275A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
| 发明(设计)人: | 郑健华;黄婷婷;慈朋亮 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336;H01L27/088 |
| 代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 聂秀娜 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
| 摘要: | 本申请提供了一种成像器件、传感器以及电子设备,该成像器件包括半导体衬底,半导体衬底的两侧设置第一阱和第二阱,半导体衬底的表面依次设置有第一绝缘介质层、浮栅和第二绝缘介质层,浮栅位于第一绝缘介质层和第二绝缘介质层之间形成的容纳腔内,第一绝缘介质层设置有至少一个开窗,浮栅和第一阱通过开窗连接;第二阱内包括沟道区域,沿远离沟道区域的方向,沟道区域的表面依次设置有第一绝缘介质层、浮栅和第二绝缘介质层。第一阱和浮栅经由开窗直接相连,则使得电荷经由开窗直接转移至浮栅中,无需通过遂穿的方式进行转移,提高了成像器件的满阱容量,进而提高了电荷转移的效率以及所获取到的图像的质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 成像 器件 传感器 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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